固有頻率：

＜1.2～2Hz

重復定位精度：

±0.10mm

臺面材料：

SUS430高導磁不銹鋼

臺面厚度：

100/200/250mm

平面度：

≤0.05mm/m2

臺面粗糙度：

≤0.8μm，局部可達0.4μm

氣浮支架：

雙層氣室,3個真空管水平調節閥,四或六支撐腿

臺面加支架總高度

800mm

總高度可調范圍

-20～+20mm

孔間距：

25mm（機械打孔）

孔徑：

M6螺紋孔

型號

規格（mm）

臺面厚度（mm）

最大載荷（Kg）

OPF-0906

900 ×600 ×800

100

400

OPF-1208

1200 ×800 ×800

100

450

OPF-1510

1500 × 1000 ×800

200

550

OPF-1512

1500 × 1200 ×800

200

550

OPF-1609

1600 ×900 ×800

200

550

OPF-1812

1800 × 1200 ×800

200

600

OPF-2012

2000 × 1200×800

200

650

OPF-2015

2000 × 1500 ×800

200

650

OPF-2412

2400 × 1200 ×800

200

800

OPF-2418

2400 × 1800 ×800

200

800

OPF-2515

2500 × 1500 ×800

200

800

OPF-3012

3000 × 1200 ×800

250

1000

OPF-3015

3000 × 1500 ×800

250

1200

OPF-4015

4000 × 1500 ×800

250

1400

OPF-4515

4500 × 1500 ×800

250

1400

OPF-0906

900 ×600 ×800

100

400

OPF-1208

1200 ×800 ×800

100

450

OPF-1510

1500 × 1000 ×800

200

550

OPF-1512

1500 × 1200 ×800

200

550

臺面構造

6-8mm厚的高導磁430不銹鋼臺面和底板,以及全鋼制蜂窩結構內芯

側邊

優質的黑色鋁塑板裝飾，外加封膠處理，保證光學平臺清潔的同時又提高了美觀性

表面處理

亞光處理，有效減少雜散光

隔振方式

空氣彈簧主動隔振

隔振系統

該系統分為豎直隔振和水平隔振兩種方式：

豎直方向：豎直隔振采用雙氣室阻尼空氣彈簧隔振系統執行，

支撐光學平臺的空氣彈簧隔振器采用復合材料氣囊做成，

雙氣室使空氣通過層流阻尼器從一個氣室流到另一個氣室，減少了地面與平臺之間的振動，

極大減少了調整時間，并且通過優化氣室的體積比，最大限度減少共振頻率，提高產品性能。

水平方向：通過安裝在支架上三點式懸架系統控制垂直隔振器來實現

調平系統

由安裝在自水平框架上的三個高精度調整系統實現，該系統具有三個高精度的調平閥，

通過調節隔振器及氣室中的空氣補給，可以使臺面受到干擾后快速精確的實現重新調平定位。

工作壓力

標準1.5-4MPa

空氣源

無油靜音空壓機，噪音<46db

支撐腿

全部支撐結構均采用進口機器人自動焊接成型，安裝靜音高載腳輪，方便用戶自行移動